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氣路系統 氣路盤(pán)是七星流量計開(kāi)發(fā)的氣路輸送系統的解決方案，該產(chǎn)品通過(guò)對氣路原理圖的設計，加工和測試，以隔膜閥，調壓閥，壓力傳感器，過(guò)濾器，MFC等零部件實(shí)現對多種工藝氣體的壓力調節，純度過(guò)濾，流量控制等功能，目前市場(chǎng)上常用的為傳統VCR型氣路盤(pán)和氣體輸送集成控制系統（Integrated Gas System），即IGS氣路盤(pán)，這兩種氣路盤(pán)業(yè)務(wù)七星流量計都有能力承接。