D07-60G氣體流量控制器重復性好、快響應型 、超大流量型
D07-60G氣體流量控制器簡(jiǎn)介:
★重復性好、快響應型 、超大流量型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★標準機械接頭
D07-60G氣體流量控制器參數:
產(chǎn)品型號 | D07-60G |
產(chǎn)品類(lèi)型 | 大流量型 |
流量量程 | 300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm |
產(chǎn)品精度 | ±2%F.S. |
重復精度 | ±0.2% FS |
線(xiàn)性 | ±1%F.S. |
響應時(shí)間 | ≤10sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號 | (1~5)VDC,(4~20)mA |
電源 | 24V |
閥類(lèi)型 | 常閉 |
溫度系數 | - 無(wú) - |
零點(diǎn)飄移指標 | - 無(wú) - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | (0.25~0.5) MPa (F.S.≤1000slm) |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
標準接頭形式 | 雙卡套1/2”(滿(mǎn)量程≤1000slm),雙卡套Φ10(滿(mǎn)量程=300slm) |
表面化學(xué)成分 | - 無(wú) - |
表面粗糙度 | - 無(wú) - |
抗電磁干擾 | - 無(wú) - |
重量 | 6Kg |