國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量?jì)x器、制氣配氣等行業(yè)。
國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
★高精度,快響應型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭,標準機械接頭
★兼容
北京氣體質(zhì)量流量控制器用途:
用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量?jì)x器、制氣配氣等行業(yè)。
國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器詳細參數:
產(chǎn)品型號 | D07-19C |
產(chǎn)品類(lèi)型 | 高精度型,快響應型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm |
產(chǎn)品精度 | ±1%F.S.(20slm ±2%F.S.) |
重復精度 | ±0.2% FS |
線(xiàn)性 | ±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.) |
響應時(shí)間 | ≤1.5sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類(lèi)型 | - 無(wú) - |
溫度系數 | Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零點(diǎn)飄移指標 | - 無(wú) - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | (0.1~0.5) MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
標準接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿(mǎn)量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿(mǎn)量程>10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭 |
表面化學(xué)成分 | - 無(wú) - |
表面粗糙度 | - 無(wú) - |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1.2Kg |